RCA全自动清洗机

RCA全自动清洗机RCA全自动清洗机可用于2~12寸清洗、蚀刻、去胶、显影、电镀。本设备采用模块化设计，其机械手传输系统模块易安装，通过更新模块组合可以实现不同的功能。设备可以配备独立的干燥系统，该干燥系统为卧式旋干机，通过离心力去除晶圆表面水分，拥有干燥效果好，效率高，振动小，噪音低等特点。通过干燥系统模块选择可以实现干进干出功能。设备采用12~15寸控制面板，通过面板控制可以选择各种运行模式，选择及编写工艺配方等。设备带消防设备，机械手带防撞设置，机台各模块之间及模块内零部件互锁功能等。RCA全自动清洗机